序号

项点

UT、ALD烧结炉结构差异

优劣分析

1

加热器布局

UT加热器粘接联结，形成方形（四周）布局

ALD加热器由12根加热器采用螺纹连接，形成半环形布局

根据热力学、动力学原理，ALD加热器布局更为科学、合理。目前UT烧结炉烧结温度为上层高下层低，ALD烧结炉则刚好相反，下层高上层低，且温度均匀性较好。

2

温控方式

UT三区彼此独立，任何一区在加热过程中出现温差过大，另外两区不会补偿协作，而是各自独立工作，等该区出现保持时，其他两区也会保持等待。

ALD三区互相联动制约，一区在加热过程中出现温差过大，另外两区会协作补偿，达到平衡。

ALD烧结炉的控温方式要比UT炉的科学。UT烧结炉经常出现的程序保持与控温方式有一定的关系，后经公司技术人员进行调整、改进（增大程序保持温差值、降低程序升温速率、电气部件改进），以后有很大提升，目前比较正常。

3

脱蜡方式

UT烧结炉氢气脱蜡，炉膛与脱蜡仪压力相同，H2脱蜡后，蜡蒸汽附着在炉壁上凝结成液体流入蜡道后，进入蜡槽。

ALD烧结炉氢气压差脱蜡，炉膛压力高于脱蜡仪压力，H2脱蜡后，压差使H2及蜡蒸汽从炉膛进入脱蜡管道，石蜡在蜡槽凝结，H2被燃烧。

UT 脱蜡时间短，脱除不干净，炉壁、炉门残余石蜡，造成UT碳势相对ALD较高。

ALD脱蜡时间长，脱除干净，炉壁、炉门不会有残余石蜡，ALD碳势相对UT低。

4

正碳方式

UT采用正压正碳；ALD采用负压正碳。

UT正碳效果好,ALD正碳效果不理想